科技日報記者 金鳳

不管是做研究還是做研發(fā)，得先“看”到，才能做到。6月28日，蘇州博眾儀器科技有限公司（以下簡稱博眾儀器）發(fā)布國產首臺商用200千伏場發(fā)射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點分辨率達到0.25納米，晶格分辨率達到0.14納米，能夠直接分辨絕大多數(shù)材料的晶格結構。

“創(chuàng)業(yè)的路途是異常曲折的，我們最初沒有人才、沒有技術、沒有供應鏈，缺乏客戶與資金，困難重重下團隊也曾迷茫。是解決國家關鍵技術的堅韌信念，讓團隊走到了今天?！辈┍娋ざ麻L呂紹林在當日的發(fā)布會中坦露心跡。

透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后，會攜帶樣品內部結構信息，這些信息經過放大系統(tǒng)成像后，可放大百萬倍，從而幫助使用者觀察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應用于納米級的研究與觀測，是材料科學、生命科學和半導體等領域研究所必需的高端儀器設備。

BZ-F200的研發(fā)歷時5年。博眾儀器技術總監(jiān)梁晶博士介紹，此前，高端透射電鏡產業(yè)長期被國外儀器公司壟斷，核心零部件受到國外技術封鎖，針對這項痛點，博眾儀器陸續(xù)實現(xiàn)了熱場電子槍、超高穩(wěn)定度電源、熱場電子源、精密加工鏡筒、納米級測角臺等核心零部件的自主生產，并在用戶先期試用中得到驗證。

梁晶介紹，該顯微鏡主要聚焦材料研發(fā)以及前沿科學領域，適用于晶格尺度的結構解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

“經過5年的技術攻關與反復錘煉，我們已將BZ-F200從整機到每一個關鍵零部件的全鏈條關鍵技術牢牢掌握在自己手中。”博眾儀器總經理唐愛權表示，未來，博眾儀器將堅定專注于電子束關鍵技術，不斷完善產品線，并通過為業(yè)內提供電子束技術應用與服務，賦能產業(yè)生態(tài)建設。

如果將透射電鏡比作材料科學的“眼睛”，那么高分辨成像與電子衍射技術便是這雙眼睛的“瞳孔”。活動現(xiàn)場，重慶大學教授張大梁作為BZ-F200用戶代表表示：“微觀結構表征對于理解材料的應用屬性至關重要，該顯微鏡在復雜晶體結構解析、微區(qū)結構表征和納米尺度形貌分析等領域發(fā)揮著不可替代的作用?！?/p>

全國政協(xié)委員、清華大學教授段文暉認為，博眾儀器高效結合了高等院校、科研機構對儀器的基礎研究，并在短短兩年時間內實現(xiàn)從原型機到商用整機的正式發(fā)布，為我國的高端科研儀器發(fā)展闖出了一條新路。

人才是支撐高水平科技自立自強的重要力量。作為博眾儀器重要合作單位代表，蘇州大學校長張橋表示，蘇州大學將繼續(xù)攜手博眾儀器，全力支持中國科研儀器產業(yè)高質量發(fā)展。